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|---|---|---|---|
| ²úÆ·³ß´ç | ¿É¶¨ÖÆ | ³äÆøÌî³äѹÁ¦ | 2~200Kpa |
| ÃÜ·âѹºÏѹÁ¦ | 0~5t | ¼ì©ÃÜ·âѹÁ¦ | 0~300Kpa |
| ×ß©¼ì²âģʽ | ²îѹʽ/Á÷Á¿Ê½ | Á÷Á¿Á¿³Ì | 0~200sccm |
| ¼ì²â¾«¶È | ¡À1.5%F.S | Ë«¼«°å¼ì©±ê×¼ | ¡Ü0.2ml/min |
| Ĥµç¼«¼ì©±ê×¼ | <17uL/min/c©O | Íâ¹Û¼ì²â | °¼¿Ó¡¢ÁÑÎÆ¡¢ÇÌÇú¡¢²ÐÆÆ¡¢ÎÛ×Õ¡¢Ã«´ÌµÈ |
| ³ß´ç¼ì²â¾«¶È | ¡À0.01mm | ÄÜ·ñ¿ÍÖÆ»¯ | ¿ÉÒÔ |
| ¼ì²âÁ÷Ìå | ¿ÕÆø/µªÆø | ||
